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主题:G2的真义:中国与美国工人受到同一体系的压迫 -- 过来看井大

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家园 第一句话

可能不一定对。90年代中期,我就用过1974或者1976年上海生产的光刻机,当时4吋的版,用的北京产的光刻胶显影,刻1微米精度没问题。那时候基本上随随便便做。光刻机,因为看见铭牌上的出厂时间,当时觉得特别惊讶,因为一直以来都以为文革时候大家都在闹革命,怎么还会有这个产品。而且90年代初的时候,就听说1微米工艺很牛很难做,对1970年代能做这样的工作觉得不可思议。光刻胶,不知道是不是90年代比70~80年代有改进,但是我们当时显影就用的最简单的NaOH溶液,所以估计光刻胶可能也未必就有很大改进。那家生产光刻胶的好像是在北京东郊,大概是北京化工研究所之类的,不记得了。90年代中后期,去到那里的时候觉得好破。

至于后道工艺,不知道80年代的差距是多少。但是15微米这个说法,我觉得好像必须限定在大规模量产这个范围。

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