主题：【原创】兔子的300毫米火箭炮 -- 红茶冰

兄台不再提十万分之二度的每小时漂移，大概也同意了这个指标过于严苛。

既然你提到了ASML的光刻机，精密气浮工作平台的定位精度最高是10nm，确实很牛逼，辣翻了我的眼睛。 我就翻了一下，哈哈，果然有， 2007年华中科技大学有一篇硕士论文：光刻机精密气浮工件台的振动特性分析及运动控制

http://www.doc88.com/p-99522689360.html

大概看了一下，里面提到当时中国的光刻机定位精度是60~70nm，看了这个，我就放心地笑了。将近10年过去了，现在的状况会是神马呢？放狗搜了一下，国内领先的上海微电子装备公司生产的SSA600/20可以适用于90nm的工艺生产，一般猜想，它的定位精度肯定远小于90nm，我按照10%或5%估算应该合理，因此我推测国产的光刻机的定位精度是4.5nm或9nm， 中国人落后也不过10年， 可见nm级加工不像你说的那么神奇，土鳖国早已有之。

好了， 不扯这个加工工艺，我本来不懂， 既然你提到了半导体工艺，凑个热闹。我前面的帖子说了一大堆，无非几点， 一是不必要的精度要求， 二是非标准化流程， 三是忽视MEMS的应用。

在讲MEMS应用前，我讲一个故事，是1991年华为万门程控交换机之前的故事。我以前在河里提到过，华为的万门程控交换机技术来自巨龙， 巨龙的突破来自解放军信息工程学院的邬江兴， 邬江兴的突破来自于他发明的软交换技术， 规避了巴统对中国VLSI交换矩阵的封锁。

我没有说的是，还有另一个障碍，就是时钟。 交换本身需要精准时间，大型交换机分布在不同的地方，而电磁波的传送需要时间，各地因此就天然存在时间差，交换必须消除时间差。每个地方放一个原子钟不合理，只能是一个原子钟授时， 本地时钟守时（现在移动网络基本成了本地GPS授时）。一般的石英晶体短期时钟稳定度是10的-6次方，这对通讯系统来说远远不够，当时巨龙机的要求是最低10的-8次方。

石英晶体本质上是一个压电转换器，它的噪声来自于温漂和机械振动， 于是超高精度的时钟就放在一个恒温槽中， 这个恒温槽有各种减震措施。 这样的晶体体积巨大，成本高。为了解决这个问题，大家自然就想到了锁相环的环路滤波器，但各种滤波电路本身就有自己的局限， 对付这种噪声行，另一种噪声就不行。后来一个复旦的学者在80年代用DSP分析噪声的规律，根据噪声的规律， 自适应地改变滤波算法。 巨龙采用他的算法，做出了自己的超级稳定的石英振荡器，把时钟的短期稳定度提高了100倍乃至1000倍，完成了本地守时。

MEMS的噪声，如果是完全随机噪声，也就是通常意义上的白噪声，根本不是问题，因为积分效应自动趋于0。如果不是白噪声，无非来自半导体的1/f噪声，半导体电路的信号噪声，电源噪声，机械振动耦合进来的噪声。 对噪声进行分析才能做出进一步的处理方法。离开这个物理基础，就是香农再世，卡尔曼重生也不能创造新的算法。今天MCU的计算能力是30年前DSP的10倍以上，可以轻松完成各种算法。 改天有空，我做一个简单的数学推导，证明恰当的MEMS阵列和恰当的算法能将噪声降低1~2个数量级。