主题:人生的三原色:你我想做什么,能做什么,必须做什么 -- jent

新兵营地 导读 复 10 阅 5161

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2018-12-03 21:30:29
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zjuzju`37126`/bbsIMG/face/0000.gif`70`143`41`921`从九品上:文林郎|陪戎校尉`2009-07-20 22:23:11`
surface plasma的技术让 3

365nm的光源做到22nm的线宽,但是在多层之间的overlay(套刻精度),depth of foucus (焦深)和throughput(效率),等问题没有解决之前,显然目前不能量产在超大规模集成电路的制造中


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