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主题:【文摘】中国集成电路核心装备研发与产业化获重大突破 -- 闲看蚂蚁上树

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家园 找了一下, ICP98

ICP-98A和ICP98-C刻蚀机是“九五”国家重点科技攻关成果。不过也只能给学校玩玩.因为它们只能使刻蚀均匀性在4英寸片内可达到±2%,这个没法工业上用.

如果文摘里的消息为真,有点类似当年华为做出C&C08机的意义了,虽然离世界先进水平还有不小距离(比如32nm技术已经出现,45nm已经开始商业化了).

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