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主题:G2的真义:中国与美国工人受到同一体系的压迫 -- 过来看井大

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家园 70年代根本连4寸硅片都还没有

83年在上无14厂才见到进口的4寸硅片。这个你可以去看一下中国科技发展史之类的。

上海产的是劳动牌的光刻机,一直到现在还能看到。15微米也已经刻不到喽。问题在于机械的精度。刻一微米的光刻机需要有如钟表机构般的精密载片平台,就像佳能的光刻机,来均衡顶力。劳动牌没有这种机构的。你说70年代刻到1微米,从制版上来说也不可能,因为图形发生器也是80年代才进口的。至于用氢氧化钠显影用的更是老掉牙的光刻胶,怎么可能做1微米的线条?

一直到今天,国产光刻机还只能刻到3微米。中电45所和成都的南光。完全仿制佳能的。

其实1微米已经到了接触式光刻机的极限,或者说用接触式不可能刻出1微米的线条的。原因在于图形边缘在水银灯光源的波长产生的衍射。

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